光伏芯片化學(xué)氣象沉積制程上下貨系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱: 光伏芯片化學(xué)氣象沉積制程上下貨系統(tǒng)
產(chǎn)品型號: Model 3772
產(chǎn)品展商: Chroma
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
通常用于晶片常壓化學(xué)氣象沉積制程。在常壓化學(xué)氣象沉積制程中，致茂可提供自動化上下晶片的傳輸設(shè)備，并以破片率小于0.1％，高產(chǎn)量和低成本的特性來滿足客戶對常壓化學(xué)氣象沉積制程功能要求。
光伏芯片化學(xué)氣象沉積制程上下貨系統(tǒng)
的詳細介紹
主要特色：
- 破片率：< 0.1%
- 產(chǎn)量：> 2400 pcs/hr
- 上貨載具：Cassette
- 下貨載具：Cassette
